JPTD 磁控鍍膜系列

作者:甘肅真空設備有限公司時間:2022-09-22點擊:765次

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  ※ 系列產品參數

型號項目

JPTD-1000L

JPTD-1000LA

JPTD-1000LC

  極限真空度   Pa

5.0×10-3(清潔、干燥、空載)

  恢復真空時間  Pa

18(從大氣~10-2Pa)

  基材

PET、PVC、PE等

  有效鍍幅    mm

500

650

800

  最大卷徑    mm

Φ300

  鍍膜速度   m/min

ITO靶0.5~1.5m/min 其它靶 5m/min(max)

  磁控靶數目    只

5

6

8

  靶材    

銦錫合金(黃銅、紫銅、鎳、鈦等選用)

  濺射壓力    Pa

1~0.1

  濺射電壓    V

300~600(D.C)

  工作氣體

Ar、 O2純度99.99%

  最大需用功率  KVA

52

55

78

  冷卻水量    t/h

5   ?。ㄈ肟趬毫?.15~0.2MPa,進水溫度25℃以下)

  占地面積      mm

6850×5020×2600

7000×5020×2600

7250×5020×2600

    


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