極限壓力 　 　　Pa

≤5×10^-5

  抽氣速率 　   　L/s

≥2100

≥4500

≥7500

≥16500

≥24000

  臨界前級壓力　　Pa

≥40

  加熱功率  　　　kW

1.8

3

4.5

8.4

15

  電源電壓  　　　V　

220

380

  冷卻水用量　　　L/h

260

480

620

850

1200

  泵油牌號

KS-3或275#硅油

  泵油用量　　　　L

0.55

1.5

3.2

7

10

  推薦前級泵抽速　L/s

15

30

70

150

300

  外形尺寸 （L×W×H）

440×215×575

600×430×745

770×555×910

1200×780×1360

1700×1000×1733

  重量 　　 　　kg

37

85

170

400

850